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什么是高纯多晶硅的基磷和基硼？

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ship200

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发表于 2008-8-29 12:18:52 | 显示全部楼层 |阅读模式

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什么是高纯多晶硅的基磷和基硼 ？
# u+ N$ b7 ~* e2 W2 r- ^& @用什么表示,单位是什么？
  T( ~. y; r4 s这个数值的大小对多晶硅材料有什么影响 ？
; L9 `0 }/ B9 `3 ~如何控制它们的量？
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