电气比例阀在液压夹具中的应用研究

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大功率电力半导体器件是电力电子行业的基础和核心。随着电力半导体器件产量越来越大，功率和电压等级越来越高，对其测试效率和测试质量的要求也越来越高。压力夹具是大功率半导体器件测试必不可少的环节，因此研制高效率、低成本及技术先进的大功率半导体器件测试压力夹具十分必要。采用电气比例阀控制气液增压缸压力技术研制一种新型压力夹具，实验结果表明：该夹具在相当大的范围内具有很好的控制精度和线性度。