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[分享] 真空炉检测泄漏的方法

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    [LV.4]偶尔看看III

    发表于 2022-5-14 08:51:57 | 显示全部楼层 |阅读模式

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    真空炉的泄漏检测主要采用两种方法:喷吹法和吸嘴法。喷吹法是传统的泄漏检测方法,它是将炉膛抽成真空,并在炉外施加氦气(比如连接氦质谱仪),然后观察结果。

    真空炉.png

      另一种方法是吸嘴检测法,适用于您的检测对象不能抽真空的情况。采用该方法时,需要将一种示漏气体(比如氦气)充入被检测对象。被检测对象的例子包括换热器、水冷法兰、水冷风机和轴、电馈通、水套等。当被检测对象充入示漏气体后,使用传感器检查其外部是否有任何气体漏出。氦质谱仪也可用于这种检测方法。

      惰性气体的泄漏检测也很重要。这是因为,整个回充系统——从液态气体储存系统直到真空炉——的泄漏率必须为零。如果惰性气体从供气系统或者炉体上的气阀漏出,会使真空炉表现出抽气效果差、密封性差、极限真空度差、难以排出正常释气、返流等错误的迹象。

      惰性气体泄漏也有两种常用的检测方法,分别是薄膜(皂泡)检漏和真空检漏。一般来说,薄膜检漏法是最容易和最快的高压惰性气体泄漏检测法。它是在已知的可疑区域喷涂某种示漏液体,如果在任何检查部位产生了气泡,就能知道发现了一处泄漏。

      真空检漏是更精确的方法。它是将液氮或液氩储存系统与真空炉脱离,确保整个系统处于真空状态,然后使用氦质谱仪检查系统的泄漏情况。在进行真空检漏时,应当:
      1. 关闭外部气阀,以使外部液态气体系统与蒸发器、回充储罐、真空炉以及所有配套的减压和回充管路脱开。
      2. 使用真空炉的正常抽气系统对炉膛进行抽真空操作。
      3. 对回充储罐进行减压操作。
      4. 对炉体上的回充阀人工送电以将其打开。这步操作应由有经验的专家按照安全规定来执行。

      一旦打开回充阀和将回充储罐减压到大气压水平,真空炉就开始抽除管路中的气体。从气体储罐和蒸发器直到关闭的外部气阀,其中的气体都将被抽除。然后,可以使用真空炉的抽气系统对整个回充系统进行抽气,使整套系统都达到真空状态。接下来,应当使用氦质谱仪对系统进行泄漏检测。
      当完成了真空炉和惰性气体的全部泄漏检测后,必须逐个消除每一处泄漏。
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