石英管壁厚激光扫描在线检测系统研究

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石英管壁厚激光扫描在线检测系统研究
徐熙平 张国玉 付秀华 安志勇 李成志 杨继兴
（长春理工大学，吉林长春， 6 % # # ! !）
摘要 基于光电传感和激光扫描检测技术， 本文提出了一种石英管壁厚激光扫描在线检测系统， 采
用激光后扫描方法对以一定角度入射到石英管侧面， 经其内外表面反射后的两束激光光束的空间位置
进行测量， 解决了石英管壁厚非接触在线测量问题。文中详细论述了系统的总体结构、 检测原理及信号
处理系统。通过实验对系统的测量精度进行了验证， 结果表明系统测量精度达7#1 # 6 881
关键词 仪器仪表技术； 石英管； 激光扫描； 壁厚测量； 在线检测
中图分类号 ( , ! $ 9